溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
實(shí)驗(yàn)環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮?dú)猓渌浣涌?/span>
微型高低溫真空探針臺是一種用于材料研究和半導(dǎo)體器件測試的精密設(shè)備。它能夠在真空環(huán)境中提供高溫和低溫的測試條件,使研究人員能夠評估材料和器件在不同溫度下的性能。
主要特點(diǎn)包括:
1. **溫度范圍廣**:能夠?qū)崿F(xiàn)從低于室溫到高溫的調(diào)節(jié),通??梢栽?196°C到500°C的范圍內(nèi)工作。
2. **真空環(huán)境**:通過真空腔體,實(shí)現(xiàn)高真空條件,有助于消除氧化和污染,對材料性能影響的研究重要。
3. **高精度探針**:配備高精度的探針系統(tǒng),用于電學(xué)測量、材料表征等。
4. **微型設(shè)計(jì)**:相較于傳統(tǒng)探針臺,微型設(shè)計(jì)使得設(shè)備體積更小,更便于實(shí)驗(yàn)室使用和搬運(yùn)。
5. **多功能性**:可以配合多種測試設(shè)備使用,如示波器、頻譜分析儀等,適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求。
微型高低溫真空探針臺在材料科學(xué)、納米技術(shù)、電子學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,是研究新材料和器件性能的重要工具。
探針座位移平臺是一種用于電子測試和測量的設(shè)備,主要功能包括:
1. **定位**:能夠地移動探針到*的測試點(diǎn),確保測量的準(zhǔn)確性。
2. **多軸控制**:通常具有多個自由度(如X、Y、Z軸),可以在三維空間中靈活移動,以適應(yīng)不同尺寸和布局的測試樣品。
3. **自動化測試**:支持自動化操作,提高測試效率,減少人為誤差。
4. **掃描功能**:可以進(jìn)行掃描操作,逐點(diǎn)測量,以獲取樣品的電性能數(shù)據(jù)。
5. **與測試儀器集成**:可與測試儀器(如示波器、LCR表等)連接,進(jìn)行綜合測試與數(shù)據(jù)分析。
6. **數(shù)據(jù)記錄與分析**:記錄測試過程中的數(shù)據(jù),并可進(jìn)行后續(xù)分析,以便于評估樣品性能。
7. **靈活適應(yīng)性**:可根據(jù)不同的測試需求和樣品特性,調(diào)整探針的位置和壓力,以確保接觸。
探針座位移平臺在半導(dǎo)體、微電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域的測試和研究中具有重要的應(yīng)用價值。

高低溫真空探針臺是一種用于材料和半導(dǎo)體器件測試的設(shè)備,能夠在極端溫度和真空環(huán)境下進(jìn)行電氣特性測量。其主要功能包括:
1. **溫度控制**:能夠在廣泛的溫度范圍內(nèi)(通常從低于零度到幾百度攝氏)控制樣品的溫度,便于研究材料在不同溫度下的性能變化。
2. **真空環(huán)境**:提供低壓真空環(huán)境,以減少氣體分子對測量結(jié)果的影響,尤其是在材料表面或界面反應(yīng)的研究中。
3. **電氣測試**:可以連接測試儀器(如示波器、源測量單元等)進(jìn)行電流、電壓等電學(xué)特性的測量。
4. **多種探針配置**:可以靈活配置探針的數(shù)量和類型,以適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求,如單點(diǎn)探測或多點(diǎn)測量。
5. **樣品放置**:支持多種類型的樣品放置方式,如晶圓、薄膜、納米結(jié)構(gòu)等,以開展多樣化的實(shí)驗(yàn)。
6. **數(shù)據(jù)采集與分析**:配合相關(guān)軟件,可以進(jìn)行實(shí)時數(shù)據(jù)采集和后續(xù)分析,幫助科研人員深入理解材料性能。
高低溫真空探針臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、物理、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究和開發(fā)中,尤其是在新材料的開發(fā)和半導(dǎo)體器件的性能測試方面具有重要意義。

真空探針臺是一種用于微電子器件測試與研究的精密儀器,其主要功能包括:
1. **電學(xué)測試**:能夠?qū)Π雽?dǎo)體器件進(jìn)行電性能測試,如IV(電流-電壓)特性測試、CV(電容-電壓)特性測試等。
2. **高真空環(huán)境**:提供高真空或真空環(huán)境,減少氣體分子對測試結(jié)果的干擾,特別是在處理空氣敏感材料或量子特性研究時尤為重要。
3. **微觀定位**:由于其高精度的定位功能,能夠?qū)ξ⑿〗Y(jié)構(gòu)進(jìn)行接觸和掃描,適用于納米尺度設(shè)備的測試。
4. **冷熱測試**:部分真空探針臺配備溫控系統(tǒng),可以在低溫或高溫條件下進(jìn)行測試,以研究材料和器件在不同溫度下的特性。
5. **材料表征**:能夠?qū)Ρ∧?、納米材料等進(jìn)行表征,分析其電學(xué)性質(zhì)、表面狀態(tài)等。
6. **集成化測試**:可以與其他儀器(如掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等)聯(lián)用,進(jìn)行更深入的材料或器件分析。
總之,真空探針臺是半導(dǎo)體研究、材料科學(xué)等領(lǐng)域中的重要設(shè)備。

真空探針臺是一種用于微電子和材料科學(xué)領(lǐng)域的高精度測試設(shè)備,主要用于對半導(dǎo)體wafer、材料樣品的電氣特性進(jìn)行測量。其特點(diǎn)主要包括:
1. **高真空環(huán)境**:真空探針臺能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對測試過程的干擾,提高測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
2. **高精度定位**:該設(shè)備通常配備高精度的定位系統(tǒng),可以對準(zhǔn)探針與樣品的接觸點(diǎn),確保測量的準(zhǔn)確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺支持多種類型的探針,可根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行更換,適應(yīng)不同的測試任務(wù)。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺配備了溫度控制系統(tǒng),能夠在特定溫度下進(jìn)行測量,對于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測量**:在真空條件下,探針臺能夠進(jìn)行更高靈敏度的電氣測量,適合于低信號的測量任務(wù)。
6. **兼容性強(qiáng)**:真空探針臺通常可以與多種測試設(shè)備協(xié)同使用,如網(wǎng)絡(luò)分析儀、示波器等,滿足多種測試需求。
7. **自動化程度**:現(xiàn)代真空探針臺往往具備自動化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)自動對焦、掃描和數(shù)據(jù)采集,提高實(shí)驗(yàn)效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺不僅可用于半導(dǎo)體行業(yè),還可廣泛應(yīng)用于材料測試、納米技術(shù)、生物傳感器等多個領(lǐng)域。
總體而言,真空探針臺是進(jìn)行精細(xì)化電氣測試的重要工具,其特性使其在科研和工業(yè)應(yīng)用中具有的地位。
探針夾具主要用于電子元件測試和測量,其適用范圍包括:
1. **半導(dǎo)體測試**:用于芯片、集成電路(IC)等電子元器件的電氣特性測試。
2. **電路板測試**:適用于PCB(印刷電路板)的測試,能夠幫助檢測PCB上的連接和功能。
3. **研發(fā)和實(shí)驗(yàn)**:在電子產(chǎn)品的研發(fā)階段,探針夾具可以用于快速原型測試和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。
4. **質(zhì)量控制**:在生產(chǎn)過程中,探針夾具可用于自動化測試以確保產(chǎn)品質(zhì)量。
5. **維修與故障排查**:在維修過程中,探針夾具可以用來快速測試疑似故障的元器件。
探針夾具的靈活性和性使其成為電子行業(yè)廣泛使用的重要工具。
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